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TEL : +886-4-2534-7800
FAX : +886-4-2534-8869
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CELL : +886-922-111-308
Company ID：24829839
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Crius I, 31x2'' IC, GaN, System equipped with EpiTwinTT.
Hydride source : NH3 x1 , Si2H6 x 1
MO Source : TMGa x 2, TMAl x1, TMIn x 2, Cp2Mg x 2
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