• TEL : +886-4-2534-7800

    FAX : +886-4-2534-8869

  • CELL : +886-922-111-308

    Company ID：24829839

Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system

Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
Aixtron Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
  • Listing ID# 1011220
  • Manufacturer: Aixtron
  • Model: Crius I, 31x2'' IC1 GaN MOCVD system
  • Vintage: 2010 / 2012
  • Status: Operational

Crius I, 5x4'' (3x6'') (31x2'') IC, GaN MOCVD System

System equipped with Laytec EpiTT (905mm/405nm) In-situ Monitor, Ebara ESA70W-D Dry Pump, 1 Chiller Heat Exchanger, 6 RM6s Lauda and 1 RM25s Lauda chiller.

Hydride Source Lines : NH3 x 2, Dummy x1
Dopant Lines : SiH4/H2 (200ppm) x 1
MO_1 Source Lines : TMGa x 2, TMAl x 1, Cp2Mg x 2, Dummy x1
MO_2 Source Lines : TMIn x 2, Cp2Eu x1, Dummy x1

More information available on request.