Aixtron MOCVD - Parts / Filter / MB Glovebox Filter

  • 4070001

FILTER PERFORMANCE TABLE        
Product Name :  MB Glovebox Filter   
Material :  POLYSTER
O-Ring  Material :  NO   
Support materials :   SUS(316)   
AIR Permeability :  120 cc/cm2/sec@1/2" g(CFM)   
weight :  90 g/m2   
filter fineness :  0.3um (99.95%)   
Operation Constant Temperature :  800C    
Maximun Operation Temperature :  1100C    
Resistance to organic solvent :  Good   
Resistance to ocid :  Good   
Resistance to oxidize :  Good